研微选择性刻蚀设备（Selective Etch）: Elegito, 所采⽤的原⼦层精密（ALE）是⼀种⾼端的刻蚀技术，可以针对较浅的微结构进行出色的深度控制。 随着器件微结构尺寸越来越小，要达到器件的更高性能可以通过 ALE 技术所具有的精度来实现。
原子层刻蚀设备
研微选择性刻蚀设备（Selective Etch）: Elegito, 所采⽤的原⼦层精密（ALE）是⼀种⾼端的刻蚀技术，可以针对较浅的微结构进行出色的深度控制。 随着器件微结构尺寸越来越小，要达到器件的更高性能可以通过 ALE 技术所具有的精度来实现。
高均匀性、高选择比和低颗粒度
基于仿真的热场、流场设计
注重人机交互体验的软件设计
多款产品统一平台，降低学习和维护成本