－PSR研微成立
－入驻无锡经济开发区
－挂牌无锡市半导体薄膜
－沉积设备重点实验室
－完成天使轮融资

－与新加坡国立大学签署战略合作
－大通路厂区一期启用
－High-KALD、常压外延、6寸Sic外
－延 等产品首台机组装完成,并进行工艺开发
－天使轮+及Pre-A轮融资

－减压外延、8寸SiC外延、PEALD、TiN ALD 等产品做首台机组装并进行工艺开发
－多款机台进入客户验证并实现量产,为公司带来营收
－大通路厂区二期启用
－A轮融资

－更多机台实现量产,公司营收破亿
－更多PECVD、选择性刻蚀、
－金属 tALD产品完成开发,进入客户验证
－B轮融资

－持续扩大产能
－C轮融资

－IPO