研微高产能等离子体增强原子层沉积设备Auratus-Q，支持16片晶圆在独立反应腔内成膜，满足客户更高产能的需求。Auratus-Q搭载高精密旋转传片系统，在原有Celeritas-8平台上实现产能翻倍，坪效比提升接近1倍。同时Auratus-Q系列继承Auratus系列PEALD产品的优势，可实现Auratus系列工艺无缝转化。
等离子体增强原子层沉积设备
研微高产能等离子体增强原子层沉积设备Auratus-Q，支持16片晶圆在独立反应腔内成膜，满足客户更高产能的需求。Auratus-Q搭载高精密旋转传片系统，在原有Celeritas-8平台上实现产能翻倍，坪效比提升接近1倍。同时Auratus-Q系列继承Auratus系列PEALD产品的优势，可实现Auratus系列工艺无缝转化。
产能对比Auratus系列翻倍
极致小腔体有利ALD过程及颗粒控制
优化的RF回路设计
对称的热场、流场设计
注重人机交互体验的软件设计
多款产品统一平台,降低学习和维护成本